Pat

J-GLOBAL ID：201003059945010399

薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタの製造方法

Inventor： 竹村 千代子 ,  本田 誠 ,  三好 正紀 ,  平井 桂
Applicant, Patent owner： コニカミノルタホールディングス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009100795
Publication number (International publication number)：2010251591
Application date： Apr. 17, 2009
Publication date： Nov. 04, 2010
Summary：

【課題】低温で簡便なプロセスにより形成可能で、移動度、on/off比に優れ、立ち上がり電圧のマイナス側へのシフト、S値劣化、素子間の性能バラツキを改良した、安定性の高い薄膜トランジスタ、および該薄膜トランジスタの製造方法を提供する。【解決手段】基板106上にゲート電極104、ゲート絶縁層105、ソース電極102、ドレイン電極103、及び半導体層101を有する薄膜トランジスタにおいて、半導体層101が塗布によって形成された酸化物半導体からなり、フッ素化合物含有層107がゲート電極104と半導体層101との間に設けられる。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

基板上にゲート電極、ゲート絶縁層、ソース電極、ドレイン電極、及び半導体層を有する薄膜トランジスタにおいて、 前記半導体層が塗布によって形成された酸化物半導体からなり、 フッ素化合物含有層が前記ゲート電極と前記半導体層との間に設けられたことを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (6)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/283 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/368

FI (7)：

H01L29/78 617T ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 617U ,  H01L29/78 618A ,  H01L21/283 C ,  H01L29/58 G ,  H01L21/368 Z

F-Term (97)：

4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD51 ,  4M104DD53 ,  4M104DD63 ,  4M104DD68 ,  4M104EE03 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104EE18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG14 ,  5F053AA06 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053HH10 ,  5F053LL10 ,  5F053RR05 ,  5F053RR20 ,  5F110AA01 ,  5F110AA05 ,  5F110AA16 ,  5F110CC01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE08 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF24 ,  5F110FF27 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG45 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK10 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ14