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J-GLOBAL ID:201003062781348777

液晶装置の製造装置、液晶装置の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009034901
Publication number (International publication number):2010191136
Application date: Feb. 18, 2009
Publication date: Sep. 02, 2010
Summary:
【課題】ラビング処理面の凹凸による配向処理むらが生じることを防止可能な液晶装置の製造装置および液晶装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本適用例のラビング装置200は、ワークWが載置されるステージ201と、ステージ201を所定の方向に移動させる移動機構202,206と、ラビングローラー203と、ラビングローラー203を回転させる回転機構204と、ラビングローラー203のローラー面203bに巻き付けられたラビング布と、を備え、移動機構202はラビングローラー203に対してステージ201を第1の方向(Y軸方向)に相対移動させ、移動機構206はラビング処理面の凹凸とラビング布との接触点が相対移動において配向膜に接触しないように第1の方向に交差する第2の方向(X軸方向)にステージ201を移動させる。【選択図】図5
Claim (excerpt):
基板に設けられた配向膜をラビングして配向処理を施す液晶装置の製造装置であって、 前記基板が載置されるステージと、 第1の方向と前記第1の方向に交差する第2の方向とに前記ステージを移動可能な移動機構と、 前記第1及び第2の方向に対して交差する方向に配設されたラビングローラーと、 前記ラビングローラーを回転させる回転機構と、 前記ラビングローラーに巻き付けられたラビング布と、を備え、 前記移動機構は、前記ラビングローラーに対して前記ステージを前記第1の方向に相対移動させると共に、ラビング処理面の凹凸と前記ラビング布との接触点が前記相対移動において前記配向膜に接触しないように前記ステージを前記第2の方向に移動させることを特徴とする液晶装置の製造装置。
IPC (1):
G02F 1/133
FI (1):
G02F1/1337 500
F-Term (2):
2H090MB02 ,  2H090MB03

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