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J-GLOBAL ID:201003062806904173
走査ビーム装置の較正
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5):
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009545530
Publication number (International publication number):2010515947
Application date: Apr. 20, 2007
Publication date: May. 13, 2010
Summary:
較正パターンを使用する走査ビーム装置の較正を開示する。1つの態様では、方法が、走査ビーム装置を使用して較正パターンの画像を取得するステップを含むことができる。取得した画像を較正パターンの表示と比較することができる。この比較に基づいて走査ビーム装置を較正することができる。これらの及びその他の較正方法を行うためのソフトウェア及び装置も開示する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
走査ビーム装置を使用して較正パターンの画像を取得するステップと、
前記取得した画像を前記較正パターンの表示と比較するステップと、
前記比較に基づいて前記走査ビーム装置を較正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (3):
G02B 26/10
, A61B 1/00
, G02B 23/24
FI (4):
G02B26/10 C
, A61B1/00 300Y
, G02B26/10 109
, G02B23/24 B
F-Term (15):
2H040BA01
, 2H040CA07
, 2H040CA11
, 2H040CA22
, 2H040DA17
, 2H040DA21
, 2H040DA43
, 2H045AE02
, 2H045AE05
, 2H045BA13
, 2H045BA14
, 4C061CC06
, 4C061FF40
, 4C061FF46
, 4C061JJ20
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