Pat
J-GLOBAL ID：201003066743782671
光偏向器アレイ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
斎藤 圭介
, 平山 巌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008284225
Publication number (International publication number)：2010113067
Application date： Nov. 05, 2008
Publication date： May. 20, 2010
Summary：
【課題】可動部をアレイの並び方向に直交する軸回りに傾斜せしめる駆動電極の電極面積を広くとれ、駆動効率を向上できる光偏光器アレイを提供すること。【解決手段】支持部材と、可動部と、前記可動部の少なくとも一面に設けられた反射面と、前記可動部の前記反射面とは反対側の面に設けられている可動部対向電極と、前記支持部材と前記可動部に連結され、少なくともアレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜可能に支持する少なくとも1対の弾性部材と、アレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜せしめる第一の駆動電極と、前記第一の駆動電極ごとに印加する電圧を個別に制御する第一の電圧制御手段と、を有し、前記第一の駆動電極は、隣接する前記軸どうしの間で、かつ隣接する前記可動部にまたがるように形成され、前記第一の電圧制御手段は、前記可動部を傾斜させるときは、隣接する前記第一の駆動電極間に所定の電位差を付与する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
複数の光偏向器が近接して1次元のアレイ状に配列された光偏向器アレイにおいて、
支持部材と、
可動部と、
前記可動部の少なくとも一面に設けられた反射面と、
前記可動部の前記反射面とは反対側の面に設けられている可動部対向電極と、
前記支持部材と前記可動部に連結され、少なくともアレイ方向と直交する軸回りに前記可動部を傾斜可能に支持する少なくとも1対の弾性部材と、
アレイ方向と直交する軸回りに前記可動部を傾斜せしめる第一の駆動電極と、
前記第一の駆動電極ごとに印加する電圧を個別に制御する第一の電圧制御手段と、
を有し、
前記第一の駆動電極は、隣接する前記軸どうしの間で、かつ隣接する前記可動部にまたがるように形成され、
前記第一の電圧制御手段は、前記可動部を傾斜させるときは、隣接する前記第一の駆動電極間に所定の電位差を付与すること
を特徴とする光偏向器アレイ。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (16)：
2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MB62
, 2H141MC06
, 2H141MD12
, 2H141MD13
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD24
, 2H141MD40
, 2H141MF30
, 2H141MG01
, 2H141MG03
, 2H141MZ06
, 2H141MZ18
, 2H141MZ27
