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J-GLOBAL ID：201003068287018630

インターフェース、非真空環境内で物体を観察する方法、および走査型電子顕微鏡

Inventor： シャチャル,ドブ
Applicant, Patent owner： ビー・ナノ・リミテッド
Agent (2)： 本城 雅則 ,  本城 吉子
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009534051
Publication number (International publication number)：2010509709
Application date： Oct. 23, 2007
Publication date： Mar. 25, 2010
Summary：

インターフェース、走査型電子顕微鏡、および非真空環境内に配置される物体を観察する方法が提供される。本方法は、真空環境内で発生される少なくとも1つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも1つのアパーチャ、および少なくとも1つのアパーチャを密閉する少なくとも1つの超薄膜を通過させる段階であって、少なくとも1つの電子ビームが物体の方に向けられ、少なくとも1つの超薄膜が真空環境と非真空環境との間の圧力差に耐える段階と、少なくとも1つの電子ビームと物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、を含む。

Claim (excerpt)：

非真空環境内に配置される物体を観察する方法において、 真空環境内で発生される少なくとも1つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも1つのアパーチャ、および前記少なくとも1つのアパーチャを密閉する少なくとも1つの超薄膜を通過させる段階であって、前記少なくとも1つの電子ビームが前記物体の方に向けられ、前記少なくとも1つの超薄膜は前記真空環境と前記非真空環境との間の圧力差に耐える、段階と、 前記少なくとも1つの電子ビームと前記物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、 を含むことを特徴とする方法。

IPC (3)：

H01J 37/18 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/252

FI (6)：

H01J37/18 ,  H01J37/28 X ,  H01J37/28 Z ,  H01J37/28 B ,  H01J37/252 A ,  H01J37/252 Z

F-Term (4)：

5C033KK09 ,  5C033PP08 ,  5C033RR10 ,  5C033UU10