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J-GLOBAL ID：201003068854183842

窒化ガリウム結晶及びウェハ並びに製造方法

Inventor： デヴェリン,マーク,ピー ,  パーク,ドン-シル ,  ルブフ,スティーブン,エフ ,  ロウランド,ラリー,ビー ,  ナラン,クリスティ,ジェイ ,  ヒュイコン,ホン ,  アーサー,ステファン,ディー ,  サンドヴィク,ピーター,エム
Applicant, Patent owner： モメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (3)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009537166
Publication number (International publication number)：2010509178
Application date： Nov. 09, 2007
Publication date： Mar. 25, 2010
Summary：

窒化ガリウムを含む結晶を開示する。この結晶は、2.75mmより大きい少なくとも1つの次元と約104cm-2未満の転位密度とを有する少なくとも1つの粒子を有し、実質的に傾角境界がない。

Claim (excerpt)：

厚みwを有する窒化ガリウムを含む結晶であって、 前記結晶が、少なくとも1つの粒子を含み、前記少なくとも1つの粒子が、前記厚みwに垂直な面を規定する次元x及びyを有し、2.75mmより大きい少なくとも1つの次元x又はyを有し、約104cm-2未満の転位密度を有し、傾角境界が実質的にない、結晶。

IPC (4)：

C30B 29/38 ,  C30B 7/10 ,  C01B 21/06 ,  H01L 33/32

FI (4)：

C30B29/38 D ,  C30B7/10 ,  C01B21/06 A ,  H01L33/00 186

F-Term (15)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB04 ,  4G077AB09 ,  4G077BE15 ,  4G077CB03 ,  4G077EB01 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA05 ,  4G077HA12 ,  5F041AA40 ,  5F041CA40 ,  5F041CA67

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• III族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる反応容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-076129   Applicant：独立行政法人科学技術振興機構
• 窒化ガリウム結晶、ホモエピタキシャル窒化ガリウムを基材とするデバイス、及びその製造方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-565702   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ