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J-GLOBAL ID：201003087561830732

外観検査方法及び外観検査システム

Inventor： 渋谷 久恵 ,  前田 俊二 ,  齋藤 茂 ,  金丸 龍二 ,  四反田 博文 ,  馬場 崇志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立プラズマディスプレイ株式会社
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009000639
Publication number (International publication number)：2010159979
Application date： Jan. 06, 2009
Publication date： Jul. 22, 2010
Summary：

【課題】製造途中の外観検査とそれに続く致命性検査において、適正な基準で致命性の判定を行うことができるようにした外観検査方法及びそのシステムを提供することにある。【解決手段】外観クラス分類器(404,406)を学習し、該学習された欠陥種である外観クラス別に、機能検査装置を用いて最終的な機能検査によって判定される機能の良否である機能クラスの対応を教示することにより機能クラス分類器(407,408)を学習して最終的な機能の良否を左右する検査途中の外観的特徴に関する定量的な記述である致命性要因を抽出し、該抽出された前記定量的な記述である致命性要因に基づいて致命性判定条件を決定する学習過程を有することを特徴とする。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

学習時において、学習対象物に生じた複数の欠陥について外観検査装置を用いて撮像して画像信号を検出し、該検出される画像信号に基づいて各欠陥の特徴量を算出する第1の学習ステップと、該第1の学習ステップで算出される各欠陥の特徴量に基づいて分類される欠陥種である外観クラスを分類条件として教示することにより外観クラス分類器を学習する第2の学習ステップと、該第2の学習ステップで学習された前記欠陥種の特徴量に基づいて分類される前記欠陥種である外観クラス別に、機能検査装置を用いて最終的な機能検査によって判定される機能の良否である機能クラスの対応を教示することにより機能クラス分類器を学習して最終的な機能の良否を左右する検査途中の外観的特徴に関する定量的な記述である致命性要因を抽出する第3の学習ステップと、該第3の学習ステップで抽出された前記定量的な記述である致命性要因に基づいて致命性判定条件を決定する第4の学習ステップとを有する学習過程と、 検査時において、製造途中の検査対象物に生じた複数の欠陥について外観検査装置を用いて撮像して画像信号を検出し、該検出される画像信号に基づいて各欠陥の特徴量を算出する第1の検査ステップと、該第1の検査ステップで算出される各欠陥の特徴量に基づいて前記第2の学習ステップで学習された分類条件での外観クラス分類器を用いて前記欠陥種である外観クラスの分類を行う第2の検査ステップと、該第2の検査ステップで分類が行われた外観クラス別に、前記第4の学習ステップで前記定量的な記述である致命性要因に基づいて決定された前記致命性判定条件に基づいて致命性を予測判定する第3の検査ステップとを有する検査過程とを有することを特徴とする外観検査方法。

IPC (1)：

G01N 21/956

FI (1)：

G01N21/956 A

F-Term (7)：

2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 検査データ処理方法および検査データ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-115296   Applicant：株式会社日立製作所
• 欠陥解析方法および欠陥解析システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-036894   Applicant：株式会社日立製作所