Pat

J-GLOBAL ID：201003099627006104

プローブ顕微鏡及びそれを用いた測定方法

Inventor： 本棒 享子 ,  馬渕 勝美 ,  原田 素子
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009093081
Publication number (International publication number)：2010243355
Application date： Apr. 07, 2009
Publication date： Oct. 28, 2010
Summary：

【課題】材料に存在する微量な不純物や微小な欠陥、さらには、腐食の起点を簡便に高感度で検出する。【解決手段】液中で試料より拡散されるイオンを検知する機能を有し、プローブ3を試料7上の所定の範囲を走査した後、試料とプローブとの距離を試料表面の微小な構造を観察できない距離まで一定間隔離して、特定の液中位置にプローブを固定する。その後、プローブ3と対極4間の電流、プローブと参照極5間の電位の一方を制御して他方の追随を測定することで、試料より拡散されるイオンを検知する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料を保持し、液体を注入することのできる試験セルと、 プローブと、 対極と、 参照極と、 前記プローブを原子間力顕微鏡の原理で試料表面に追随させながら走査させる駆動機構と、 前記プローブと前記参照極間の電位を制御する電位制御部と、 前記プローブと前記対極間に流れる電流を計測する電流計測部とを備え、 前記プローブを、前記原子間力顕微鏡の原理で計測した試料表面から液体中で所定距離だけ離した状態で、前記電位制御部によって前記プローブと前記参照極間の電位を制御して前記電流計測部によって前記プローブと前記対極間に流れる電流を計測し、前記計測された電流がピークを示す電位から前記液体中のイオンの種類を検出することを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01Q 60/60 ,  G01Q 60/24 ,  G01Q 30/14

FI (3)：

G01N13/24 101 ,  G01N13/16 101 ,  G01N13/10 121H