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J-GLOBAL ID:201004021524778847  Research Project code:3360 Update date:Oct. 07, 2013

瞬間結晶化によるガラス基板上への超高性能多結晶Si薄膜形成

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
フラッシュランプアニール(FLA)を用いた瞬間結晶化により、安価なガラス基板上に形成される、膜厚1μm以上の高品質多結晶シリコン(poly-Si)薄膜の結晶化は、周期凹凸構造を形成しながら平面方向に進行します。本研究では、この結晶化機構を明確化するとともに、周期構造と太陽電池特性との関連性を明らかにすることで、太陽電池用材料としての高品質化への指針を得て、効率15%以上の低コスト薄膜poly-Si太陽電池を実現するための基盤技術を確立します。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(個人型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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