Art

J-GLOBAL ID：201102102801000042   Reference number：11A0309942

High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process

LIGAプロセスを用いた高アスペクト比静電マイクロアクチュエータ

Author (4)： KONDO R ,  TAKIMOTO S ,  SUZUKI K ,  SUGIYAMA S
Material： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES
Volume： 6  Issue： 6  Page： 218-221  Publication year： 2000 
JST Material Number： O4701A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： LIGAプロセス ,  高アスペクト比 ,  マイクロアクチュエータ