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J-GLOBAL ID：201102108117324996   Reference number：11A0341137

Metallic nanoparticles formed in polyimide by ion implantation

イオン注入のポリイミドで形成される金属ナノ粒子

Author (4)： KOBAYASKI T ,  IWATA T ,  DOI Y ,  IWAKI M
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 175  Page： 548-553  Publication year： 2001 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： イオン注入 ,  ポリイミド ,  金属ナノ粒子