Art

J-GLOBAL ID：201102113879585073   Reference number：11A0340397

Secondary ion mass spectrometry with gas cluster ion beams

ガス・クラスタイオンビームによる二次イオン質量分析

Author (5)： TOYODA N ,  MATSUO J ,  AOKI T ,  YAMADA I ,  FENNER DB
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 190  Page： 860-864  Publication year： 2002 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： クラスタイオンビーム ,  二次イオン質量分析