Art

J-GLOBAL ID：201102114260063737   Reference number：11A0339558

Development of a surface profiler for optical elements

光学素子用表面プロファイラの開発

Author (10)： KINOSHITA T ,  FUKUI K ,  ASAKA S ,  YOSHIDA H ,  WATANABE M ,  HORIGOME T ,  MA PJ ,  OHTSUKA K ,  IWANAGA M ,  OHSHIMA E
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT
Volume： 467  Page： 329-332  Publication year： 2001 
JST Material Number： O5032A  ISSN： 0168-9002  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： 光学素子 ,  プロファイラ ,  開発