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J-GLOBAL ID：201102120202974363   Reference number：11A0390858

Energy distribution of the compact microwave ion source for extremely low voltage ion extraction

超低電圧イオン抽出のための小型マイクロ波イオン源のエネルギー分布

Author (5)： GOTOH Y ,  NAKAJIMA K ,  HAGIWARA T ,  TSUJI H ,  ISHIKAWA J
Material： REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Volume： 73  Issue： 2  Page： 758-760  Publication year： 2002 
JST Material Number： O5888A  ISSN： 0034-6748  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 低電圧 ,  イオン ,  マイクロ波 ,  イオン源 ,  エネルギー分布