Art

J-GLOBAL ID：201102158367696268   Reference number：11A0084085

Fabrication and structural control of nano-structured thin films by solid-state reaction of compositionally modulated multilayers

組成変調多層の固相反応によるナノ構造薄膜の作成および構造制御

Author (4)： MATSUI T ,  TSUDA H ,  MABUCHI H ,  MORII K
Material： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
Volume： 237  Page： 1946-1950  Publication year： 2002 
JST Material Number： O3553A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： 組成 ,  変調 ,  多層 ,  固相反応 ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  構造制御