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J-GLOBAL ID：201102200774619827   Reference number：11A0104379

中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO₂の堆積と微細加工

Author (1)： TAKAHASHI TOMOKAZU (関西大 システム理工)
Material： 理工学と技術  (関西大学理工学会誌)
Volume： 17  Page： 43-46  Publication year： Nov. 10, 2010 
JST Material Number： F0789A  ISSN： 1883-0021  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： fine patterning ,  *solid oxide fuel cell ,  strontium compound ,  cerium compound ,  *cerium oxide ,  *solid solution ,  *gadolinium oxide ,  terminal equipment ,  performance evaluation ,  sedimentation (accumulate) ,  *ultrathin film ,  residual stress ,  etching ,  electrical conductivity ,  electrical resistivity ,  heater ,  micro heater ,  medium temperature solid oxide fuel cell
Semi thesaurus term： medium temperature SOFC ,  *GDC

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Terms in the title (7)： 低温 ,  マイクロ ,  SOFC ,  Gd ,  CeO2 ,  堆積 ,  微細加工