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J-GLOBAL ID：201102205163295289   Reference number：11A0168300

Effect of Microstructure on the Electrical Properties of Nano-Structured TiN Coatings Deposited by Vacuum Cold Spray

真空コールドスプレーにより堆積したナノ構造化TiN被膜の電気特性に及ぼす微細構造の影響

Author (5)： WANG Y.-Y. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  LIU Y. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  YANG G.-J. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  FENG J.-J. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  KUSUMOTO K. (Gunma Univ., Gunma, JPN)
Material： Journal of Thermal Spray Technology  (J Therm Spray Technol)
Volume： 19  Issue： 6  Page： 1231-1237  Publication year： Dec. 2010 
JST Material Number： W0482A  ISSN： 1059-9630  CODEN： JTTEE5  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： substrate(plate) ,  *alpha alumina ,  *cold spray ,  *nanostructure ,  titanium compound ,  nitride ,  *ceramic coating ,  ceramic membrane ,  *electrical property ,  *micro structure ,  particle size(diameter) ,  film thickness ,  sheet resistance ,  nozzle ,  velocity ,  vacuum treatment
Semi thesaurus term： vacuum cold spray ,  scan rate ,  *titanium nitride

JST classification (1)： Ceramic coating to nonmetallic materials  (YC02040K)

Terms in the title (7)： 真空 ,  コールドスプレー ,  堆積 ,  ナノ構造 ,  TiN被膜 ,  電気特性 ,  微細構造