Art

J-GLOBAL ID：201102211658061292   Reference number：11A0340301

Targets emitting transition radiation for performing X-ray lithography by the tabletop synchrotron MIRRORCLE-20SX

卓上型シンクロトロンMIRRORCLE-20SXによるX線リソグラフィー実行のための遷移放射を放出するターゲット

Author (4)： MINKOV D ,  MORITA M ,  NIHIRA H ,  YAMADA H
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT
Volume： 590  Issue： 1-3  Page： 110-113  Publication year： 2008 
JST Material Number： O5032A  ISSN： 0168-9002  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： シンクロトロン ,  MIRRORCLE ,  X線リソグラフィー ,  遷移放射 ,  放出 ,  ターゲット