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J-GLOBAL ID：201102212253390155   Reference number：11A1531475

Numerical processing for improving the depth resolution of scanning confocal electron microscopy

走査共焦点電子顕微鏡の深さ分解能を改善するための数値処理

Author (9)： ZHANG X. (Saitama Inst. Technol., Saitama) ,  ZHANG X. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba) ,  TAKEGUCHI M. (Saitama Inst. Technol., Saitama) ,  TAKEGUCHI M. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba) ,  HASHIMOTO A. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba) ,  MITSUISHI K. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba) ,  TEZUKA M. (Saitama Inst. Technol., Saitama) ,  SHIMOJO M. (Saitama Inst. Technol., Saitama) ,  SHIMOJO M. (National Inst. Materials Sci., Tsukuba)
Material： 埼玉工業大学オープン・リサーチ・センター研究成果報告書
Volume： 2010  Page： 61  Publication year： Mar. 31, 2011 
JST Material Number： L7781A  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron microscope ,  aberration ,  image ,  *deconvolution
Semi thesaurus term： *共焦点電子顕微鏡 ,  *深さ分解能 ,  dark field ,  deconvolution

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (5)： 走査 ,  共焦点 ,  電子顕微鏡 ,  深さ分解能 ,  数値