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J-GLOBAL ID：201102216442476589   Reference number：11A0099283

Phosphorous-beam free InP substrate cleaning for MBE

MBEのためのリンビーム不要InP基板洗浄

Author (4)： BANDO H ,  YOSHINO H ,  OKAMOTO H ,  IIZUKA K
Material： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
Volume： 278  Issue： 1-4  Page： 464-467  Publication year： 2005 
JST Material Number： O3553A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： MBE ,  InP ,  基板洗浄