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J-GLOBAL ID：201102217161466220   Reference number：11A0437707

Large area VHF plasma production by a balanced power feeding method

平衡電力供給手法による大領域VHFプラズマの生成

Author (7)： NISHIMIYA T ,  TAKEUCHI Y ,  YAMAUCHI Y ,  TAKATSUKA H ,  SHIOYA T ,  MUTA H ,  KAWAI Y
Material： THIN SOLID FILMS
Volume： 516  Issue： 13  Page： 4430-4434  Publication year： 2008 
JST Material Number： O6387A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 平衡 ,  電力供給 ,  手法 ,  VHFプラズマ