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J-GLOBAL ID：201102220471153222   Reference number：11A1154113

Mechanical properties and oxidation resistance of CrAlN/BN nanocomposite coatings prepared by reactive dc and rf cosputtering

反応性dcおよびrf共スパッタリング法で製作されたCrAlN/BNナノ複合被膜の機械的特性と酸化抵抗

Author (7)： NOSE M. ,  KAWABATA T. ,  WATANUKI T. ,  UEDA S. ,  FUJII K. ,  MATSUDA K. ,  IKENO S.
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 205  Issue： Supplement 2  Page： S33-S37  Publication year： Jul. 25, 2011 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nitride ,  *chromium compound ,  *aluminum compound ,  *boron nitride ,  Nanocomposites ,  *composite film ,  *ceramic coating ,  wafer ,  silicon ,  *high speed steel ,  *reactive sputtering ,  concurrency ,  target ,  chromium base alloy ,  aluminum containing alloy ,  Nitrogen ,  *mechanical property ,  hardness ,  Young's modulus ,  Si wafer ,  *property
Semi thesaurus term： Si wafer

JST classification (2)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (9)： 反応性 ,  DC ,  RF ,  共スパッタリング ,  製作 ,  BN ,  複合被膜 ,  機械的特性 ,  酸化抵抗