Art

J-GLOBAL ID：201102220937088736   Reference number：11A0320484

Two-photon lithography of nanorods in SU-8 photoresist

SU-8フォトレジストにおけるナノロッドの2-光子リソグラフィー

Author (5)： JUODKAZIS S ,  MIZEIKIS V ,  SEET KK ,  MIWA M ,  MISAWA H
Material： NANOTECHNOLOGY
Volume： 16  Issue： 6  Page： 846-849  Publication year： 2005 
JST Material Number： O4850A  ISSN： 0957-4484  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： SU-8 ,  フォトレジスト ,  ナノロッド ,  光子 ,  リソグラフィー