Art

J-GLOBAL ID：201102228909391580   Reference number：11A0279439

Porogen concentration and its desorbing temperature dependence in porous silica film incorporated with ethylene groups

エチレン基と組み合わさった多孔質シリカにおけるポロゲン濃度とその脱着温度依存性

Author (3)： UCHIDA Y ,  ITO Y ,  ISHIDA K
Material： MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY
Volume： 118  Issue： 1-3  Page： 250-252  Publication year： 2005 
JST Material Number： O4522A  ISSN： 0921-5107  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： エチレン ,  多孔質シリカ ,  ポロゲン ,  脱着 ,  温度依存性