Art

J-GLOBAL ID：201102232813423454   Reference number：11A0309334

Three-dimensional rotor fabrication by focused-ion-beam chemical-vapor-deposition

集束イオンビーム化学蒸着による三次元ローター作成

Author (9)： IGAKI JY ,  KOMETANI R ,  NAKAMATSU KI ,  KANDA K ,  HARUYAMA Y ,  OCHIAI Y ,  FUJITA JI ,  KAITO T ,  MATSUI S
Material： MICROELECTRONIC ENGINEERING
Volume： 83  Issue： 4-9  Page： 1221-1224  Publication year： 2006 
JST Material Number： O4682A  ISSN： 0167-9317  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： 集束イオンビーム化学蒸着 ,  ローター