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J-GLOBAL ID：201102235284719899   Reference number：11A0437346

Synthesis and characterization of plasma-polymerized hexamethyldisiloxane films

プラズマ重合ヘキサメチルジシロキサン膜の合成と特徴描写

Author (6)： KUROSAWA S ,  CHOI BG ,  PARK JW ,  AIZAWA H ,  SHIM KB ,  YAMAMOTO K
Material： THIN SOLID FILMS
Volume： 506  Page： 176-179  Publication year： 2006 
JST Material Number： O6387A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： プラズマ重合 ,  ヘキサメチルジシロキサン