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J-GLOBAL ID：201102235572908396   Reference number：11A0437282

Evidence for direct activation of solid surface by plasma discharge on CFC decomposition

CFC分解に関するプラズマ放電による固体表面の直接活性化の徴候

Author (4)： OGATA A ,  KIM HH ,  OH SM ,  FUTAMURA S
Material： THIN SOLID FILMS
Volume： 506  Page： 373-377  Publication year： 2006 
JST Material Number： O6387A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： CFC ,  分解 ,  プラズマ放電 ,  固体表面 ,  活性化 ,  徴候