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J-GLOBAL ID：201102239296768939   Reference number：11A1499811

Analysis of the piezoresistive properties of isotropic polysilicon based on a self-consistent micromechanics model

自己整合性マイクロメカニクスモデルに基づく等方性ポリシリコンの圧電抵抗特性の解析

Author (2)： MATSUZUKA Naoki (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TORIYAMA Toshiyuki (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
Material： Smart Materials and Structures  (Smart Mater Struct)
Volume： 20  Issue： 8  Page： 085018,1-8  Publication year： Aug. 2011 
JST Material Number： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microscopic mechanics ,  *polysilicon ,  *silicon
Semi thesaurus term： *piezoresistance ,  *monocrystal silicon

JST classification (1)： Physical properties of polymer solids  (CG02024U)

Terms in the title (8)： 自己整合 ,  マイクロメカニクス ,  モデル ,  等方性 ,  ポリシリコン ,  圧電 ,  抵抗特性 ,  解析