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J-GLOBAL ID：201102240345335936   Reference number：11A0436832

Real-time studies of amorphous and microcrystalline Si : H growth by spectroscopic ellipsometry and infrared spectroscopy

非晶性Siと微結晶Siのリアルタイム研究:H成長の分光エリプソメトリーと赤外分光分析

Author (3)： FUJIWARA H ,  KONDO M ,  MATSUDA A
Material： THIN SOLID FILMS
Volume： 455-56  Page： 670-674  Publication year： 2004 
JST Material Number： O6387A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (8)： 非晶性 ,  Si ,  結晶Si ,  リアルタイム ,  研究 ,  成長 ,  分光エリプソメトリー ,  赤外分光分析