Art

J-GLOBAL ID：201102244765981650   Reference number：11A0341506

MD simulation of sputtering on surface index and surface roughness dependence

スパッタリングの表面構造依存性に関するMDシミュレーション

Author (2)： MURAMOTO T ,  KENMOTSU T
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 255  Issue： 1  Page： 214-218  Publication year： 2007 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： スパッタリング ,  構造依存性 ,  MDシミュレーション