Art

J-GLOBAL ID：201102246264021471   Reference number：11A0310120

Ni electroplating on a resist micro-machined by proton beam writing

陽子ビーム描画により微細製作したレジストにおけるNi電気めっき

Author (9)： UCHIYA N ,  FURUTA Y ,  NISHIKAWA H ,  WATANABE T ,  HAGA J ,  SATOH T ,  OIKAWA M ,  ISHII Y ,  KAMIYA T
Material： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
Volume： 14  Issue： 9-11  Page： 1537-1540  Publication year： 2008 
JST Material Number： O4702A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 陽子ビーム描画 ,  製作 ,  レジスト ,  Ni ,  電気めっき