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J-GLOBAL ID：201102246636245819   Reference number：11A1050560

PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY

高密度アクチュエータアレイによるピエゾ電気MEMS可変形ミラー

Author (4)： SATO M. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KANNO I. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KOTERA H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TABATA O. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 24th Vol.2  Page： 1265-1268  Publication year： 2011 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microactuator ,  *reflecting mirror ,  *effect ,  adaptive optics ,  lead zirconate titanate ,  vibrometer ,  characteristic ,  laser-Doppler vibrometer ,  deformation characteristic ,  *micromirror ,  *piezoelectric effect
Semi thesaurus term： *mirror array ,  *piezoelectric effect ,  MEMS mirror ,  PZT

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Refractometry and reflectometry and their equipments  (BD07060V)

Terms in the title (5)： アクチュエータ ,  アレイ ,  ピエゾ電気 ,  MEMS ,  可変形ミラー