Art

J-GLOBAL ID：201102251921452724   Reference number：11A0369288

Glancing angle fluorescence XAFS study on metal oxide thin films obtained by oxygen gas cluster ion beam assisted deposition techniques

酸素ガスクラスタイオンビーム援用堆積法によって採取される金属酸化物薄膜の照角蛍光XAFS研究

Author (10)： KAGEYAMA H ,  ASANUMA T ,  TAKEUCHI T ,  KADONO K ,  MATSUO J ,  SEKI T ,  KITAGAWA T ,  TOYODA N ,  SHIMIZUGAWA Y ,  URUGA T
Material： PHYSICA SCRIPTA
Volume： T115  Page： 504-506  Publication year： 2005 
JST Material Number： O5344A  ISSN： 0031-8949  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (9)： 酸素 ,  ガスクラスタイオンビーム ,  援用 ,  堆積 ,  採取 ,  金属酸化物薄膜 ,  蛍光 ,  XAFS ,  研究