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J-GLOBAL ID：201102252261887494   Reference number：11A1340804

One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration

超大規模異種集積化により作製したCMOS駆動電子回路上1メガ画素単結晶シリコンマイクロミラーアレイ

Author (6)： ZIMMER Fabian (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  LAPISA Martin (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE) ,  BAKKE Thor (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  BRING Martin (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU) ,  STEMME Goeran (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE) ,  NIKLAUS Frank (Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 20  Issue： 3  Page： 564-572  Publication year： Jun. 2011 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： single crystal ,  *silicon ,  *reflecting mirror ,  *MEMS ,  CMOS structure ,  driving circuit ,  *VLSI ,  photolithography ,  *spatial light modulator ,  wafer ,  bonding ,  WSI ,  pixel ,  gray scale ,  RIE ,  dynamic characteristic ,  static characteristic ,  optical interferometry ,  micromirror ,  MOS structure ,  measuring instrument
Semi thesaurus term： micromirror array ,  MOEMS

JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Substance index (1)： Benzocyclobutene

Terms in the title (8)： 大規模 ,  集積化 ,  作製 ,  CMOS ,  電子回路 ,  画素 ,  単結晶シリコン ,  マイクロミラーアレイ