Art

J-GLOBAL ID：201102253929181625   Reference number：11A0309350

Near-field lithography as prototype nano-fabrication tool

プロトタイプナノ加工ツールとしての近接場リソグラフィー

Author (4)： INAO Y ,  NAKASATO S ,  KURODA R ,  OHTSU M
Material： MICROELECTRONIC ENGINEERING
Volume： 84  Issue： 5-8  Page： 705-710  Publication year： 2007 
JST Material Number： O4682A  ISSN： 0167-9317  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： プロトタイプ ,  ナノ加工 ,  ツール ,  近接場 ,  リソグラフィー