Art

J-GLOBAL ID：201102254672156698   Reference number：11A0340727

Influence of residual Ar+ in Ar cluster ion beam for DLC film formation

DLC塗膜形成のArクラスタイオンビームの残余Ar+の影響

Author (9)： KITAGAWA T ,  MIYAUCHI K ,  TOYODA N ,  KANDA K ,  IKEDA T ,  TSUBAKINO H ,  MATSUO J ,  MATSUI S ,  YAMADA I
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 206  Page： 884-888  Publication year： 2003 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： DLC ,  塗膜形成 ,  Ar ,  クラスタイオンビーム