Art

J-GLOBAL ID：201102259427816650   Reference number：11A1779739

MEMS Hydrogen Gas Sensor for the Entire Concentration Range of Hydrogen Gas

水素ガスの全濃度範囲用MEMS水素ガスセンサ

Author (2)： KIMURA Mitsuteru (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN) ,  TAKASHIMA Noriaki (Tohoku Gakuin Univ., Miyagi, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 23  Issue： 7  Page： 419-434  Publication year： 2011 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *gas ,  *hydrogen ,  *MEMS ,  *gas sensor ,  cantilever beam ,  palladium ,  metallic thin film ,  heat characteristic ,  semiconductor process ,  Nichrome ,  nickel ,  thermocouple ,  *concentration(ratio)
Semi thesaurus term： silicon-on-insulator ,  *hydrogen gas ,  *hydrogen concentration ,  thermal conductivity

JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Reference (8)：

• 1 W. Shin, K. Tajima, Y. Choi, N. Izu, I. Matsubara and N. Murayama: Sens. Actuators, B 108 (2005) 455.
• 2 L. F. Houlet, W. Shin, K. Tajima, M. Nishibori, N. Izu, T. Itoh and I. Matsubara: Sens. Actuators, B 130 (2008) 200.
• 3 I. Eisele, T. Doll and M. Burgmair: Sens. Actuators, B 78 (2001) 19.
• 4 K. Yokosawa, S. Nakano, Y. Goto and K. Tsukada: Sensor Symposium 2005 (IEEJ, Tokyo, 2005) p. 435.
• 5 K. Yokosawa, K. Saitoh, S. Nakano, Y. Goto and K. Tsukada: Sens. Actuators, B 130 (2008) 94.

Terms in the title (3)： 水素ガス ,  濃度範囲 ,  MEMS