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J-GLOBAL ID：201102260214879419   Reference number：11A0340617

NEXAFS study on substrate temperature dependence of DLC films formed by Ar cluster ion beam assisted deposition

Arクラスタイオンビーム支援蒸着によって形成されるDLC膜の基板温度依存に関するNEXAFS研究

Author (8)： KANDA K ,  SHIMIZUGAWA Y ,  HARUYAMA Y ,  YAMADA I ,  MATSUI S ,  KITAGAWA T ,  TSUBAKINO H ,  GEJO T
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 206  Page： 880-883  Publication year： 2003 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： Ar ,  クラスタ ,  イオンビーム支援蒸着 ,  DLC膜 ,  基板温度 ,  NEXAFS ,  研究