Art

J-GLOBAL ID：201102263946010350   Reference number：11A0309978

Development of an optical stylus displacement sensor for surface profiling instruments

表面形状測定のための光触針変位センサの開発

Author (2)： FUKATSU H ,  YANAGI K
Material： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
Volume： 11  Issue： 8-10  Page： 582-589  Publication year： 2005 
JST Material Number： O4702A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 表面形状測定 ,  触針 ,  変位センサ ,  開発