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J-GLOBAL ID：201102266575833365   Reference number：11A0243402

Rapid prototyping of silica glass microstructures by the LIBWE method: Fabrication of deep microtrenches

LIBWE法によるシリカガラス微細構造の迅速なプロトタイピング:深い微細溝の作製

Author (5)： KAWAGUCHI Y ,  SATO T ,  NARAZAKI A ,  KUROSAKI R ,  NIINO H
Material： JOURNAL OF PHOTOCHEMISTRY AND PHOTOBIOLOGY A-CHEMISTRY
Volume： 182  Issue： 3  Page： 319-324  Publication year： 2006 
JST Material Number： O4025A  ISSN： 1010-6030  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： シリカガラス ,  微細構造 ,  プロトタイピング ,  微細溝 ,  作製