Art

J-GLOBAL ID：201102268809066200   Reference number：11A0084556

Direct bonding of two crystal substrates at room temperature by Ar-beam surface activation

Arビーム表面活性化による室温の2つの結晶基板のダイレクトボンディング

Author (2)： TAKAGI H ,  MAEDA R
Material： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
Volume： 292  Issue： 2  Page： 429-432  Publication year： 2006 
JST Material Number： O3553A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： Ar ,  ビーム ,  表面活性化 ,  室温 ,  結晶