Art

J-GLOBAL ID：201102269725986520   Reference number：11A0394696

Effect of applied magnetic field on anodic oxidization of aluminum for high-aspect-ratio microfabrication

高アスペクト比微細加工のためのアルミニウムの陽極酸化に対する印加磁場効果

Author (4)： TAKEZAWA M ,  IMAGAWA T ,  YAMASAKI J ,  YAGI M
Material： SENSOR LETTERS
Volume： 5  Issue： 1  Page： 293-295  Publication year： 2007 
JST Material Number： O6062A  ISSN： 1546-198X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： 高アスペクト比 ,  微細加工 ,  アルミニウム ,  陽極酸化 ,  印加 ,  磁場効果