Art

J-GLOBAL ID：201102273986321400   Reference number：11A0309182

High-performance ultra-small single crystalline silicon microphone of an integrated structure

集積構造の高性能超小型単結晶シリコンマイクロフォン

Author (8)： TAJIMA T ,  NISHIGUCHI T ,  CHIBA S ,  MORITA A ,  ABE M ,  TANIOKA K ,  SAITO N ,  ESASHI M
Material： MICROELECTRONIC ENGINEERING
Volume： 67-8  Page： 508-519  Publication year： 2003 
JST Material Number： O4682A  ISSN： 0167-9317  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 集積 ,  高性能 ,  単結晶シリコン ,  マイクロフォン