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J-GLOBAL ID：201102277687790296   Reference number：11A0341492

Structure estimation of diamond-like carbon films by synchrotron X-ray reflectivity measurement

シンクロトロンX線反射率測定によるダイヤモンド様炭素膜構造の推定

Author (7)： MATSUI J ,  FUKUDA K ,  KAMAKURA A ,  TSUSAKA Y ,  KAGOSHIMA Y ,  TOYODA N ,  YAMADA I
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 261  Issue： 1-2  Page： 634-638  Publication year： 2007 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： シンクロトロン ,  X線反射率測定 ,  ダイヤモンド様炭素 ,  膜構造 ,  推定