Art

J-GLOBAL ID：201102280461105702   Reference number：11A0341311

Observation of voids formed by annealing in LiNbO3 implanted with Cu ions

Cuイオンを注入したLiNbO3へのアニーリングによるボイド形成の観察

Author (6)： IJIMA K ,  MITSUI N ,  HO A ,  YAMANAKA J ,  TANIGUCHI S ,  SAITO Y
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 257  Page： 472-475  Publication year： 2007 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： Cuイオン ,  注入 ,  アニーリング ,  ボイド ,  観察