Art

J-GLOBAL ID：201102282822152878   Reference number：11A0340674

Ion implantation to inner surface of a cylinder

シリンダーの内部表面へのイオン注入

Author (2)： MASAMUNE S ,  YUKIMURA K
Material： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume： 206  Page： 682-686  Publication year： 2003 
JST Material Number： O5033A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： シリンダー ,  内部表面 ,  イオン注入