Art

J-GLOBAL ID：201102287776599210   Reference number：11A0436855

Grain structure in cathode spot trail of low vacuum arc discharge

低真空アーク放電の陰極スポットトレイルにおける結晶組織

Author (4)： SUGIMOTO M ,  MIRKARIMOV A ,  POZHAROV S ,  TAKEDA K
Material： THIN SOLID FILMS
Volume： 457  Issue： 1  Page： 168-173  Publication year： 2004 
JST Material Number： O6387A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： 真空アーク ,  放電 ,  陰極スポット ,  結晶組織