Art

J-GLOBAL ID：201102292613920294   Reference number：11A0377528

Production of VHF plasma with large area using a ladder shaped electrode - VHF plasma production with narrow gap for solar cells

はしご形の電極を使用する広域のVHFプラズマの、産生:太陽電池のための狭い隙間によるVHFプラズマ産生

Author (5)： KAWAI Y ,  TAKEUCHI T ,  MASHIMA H ,  YAMAUCHI Y ,  TAKATSUKA H
Material： PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
Volume： 2  Issue： 9  Page： 695-701  Publication year： 2005 
JST Material Number： O5462A  ISSN： 1612-8850  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (4)： はしご ,  広域 ,  VHFプラズマ ,  太陽電池