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J-GLOBAL ID：201102297511420353   Reference number：11A0955363

パーティクルセンサの小型化に関する研究

Author (4)： ISOZAKI AKIHIRO (BEANS研 Gデバイスセ) ,  KUWANA KENTA (BEANS研 Gデバイスセ) ,  SVEN Heisig (BEANS研 Gデバイスセ) ,  ITO TOSHIHIRO (BEANS研 Gデバイスセ)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2011  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.J69  Publication year： Mar. 01, 2011 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： clean room ,  *cleanliness ,  *sensor ,  particle ,  *Miniaturization ,  scattered light ,  simulation ,  spatial distribution ,  HVAC control ,  *modification
Semi thesaurus term： *パーティクルセンサ

JST classification (1)： Air purification  (PC02060X)

Terms in the title (1)： 研究