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J-GLOBAL ID：201103002839562434

透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法

Inventor： 原田 研 ,  菅原 昭
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009184998
Publication number (International publication number)：2011040217
Application date： Aug. 07, 2009
Publication date： Feb. 24, 2011
Summary：

【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の3次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から3次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の2枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。【解決手段】照射光学系中に第1の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる2つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した2つの電子線を結像光学系に配置した第2の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる2つの電子顕微鏡像を得る。この2つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する2つの像を生成し、表示装置に表示する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

電子線の光源と、前記光源から放出される電子線を試料に照射するための照射光学系と、前記電子線が照射する試料を保持するための試料保持手段と、前記試料の像を結像するための結像レンズ系と、前記結像レンズ系による前記試料の像を取得するための少なくとも1つの検出手段とを備えた透過型電子顕微鏡であって、 前記電子線の光軸上で前記試料の配置される位置より前記電子線の進行方向の上流側に配置された第1の電子線バイプリズムと、 前記電子線の光軸上で前記試料の配置される位置より前記電子線の進行方向の下流側で、前記第1の電子線バイプリズムによって作り出される前記電子線の陰の空間に配置された第2の電子線バイプリズムとを有し、 前記第1の電子線バイプリズムにより、前記光源から放出された電子線を偏向させて、前記試料の所定の領域を異なる角度から照射する第1の電子線と第2の電子線とに分離し、 前記第2の電子線バイプリズムにより、前記試料を透過した前記第1の電子線および前記第2の電子線を偏向させて、前記第1の電子線により作られる前記試料の第1の像と前記第2の電子線により作られる前記試料の第2の像とを空間的に分離して形成し、 前記第1の像と前記第2の像とを前記検出手段で取得する ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (5)：

H01J 37/295 ,  G01B 15/04 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/22

FI (6)：

H01J37/295 ,  G01B15/04 K ,  G01N23/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/22 501A ,  H01J37/22 501Z

F-Term (24)：

2F067AA52 ,  2F067AA53 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK00 ,  2F067KK06 ,  2F067QQ00 ,  2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001KA12 ,  2G001NA21 ,  2G001PA15 ,  2G001QA01 ,  2G001SA01 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03